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1、單晶切斷、拉制、切割截斷操作作業指導書編 制： 審 核： 批 準： 版 本 號: ESZAQDGF001 編 制： 審 核: 批 準： 發 布： 二XX年X月 單晶截斷作業指導書篇一：切斷作業指導書2 篇二：單晶拉制作業指導書(新) 篇三：MB264單晶切割作業指導書 篇四：單晶作業指導書 一、取單晶準備 1、準備好線手套、耐高溫手套、無塵紙； 2、準備好鋼絲鉗、取單晶的小車； 3、用沾酒精的無塵紙將爐體從上到下擦拭干凈，并保持整潔； 二、拆爐取單晶 1、待單晶冷卻4小時后，關閉Ar氣，然后提升單晶至副室，從副室觀察窗確認單晶升至 所需高度； 2、待爐內壓力到達極限真空后，先關閉主泵球閥后關閉2、真空泵電源，然后進行檢漏； 3、若無異常，擰開小副室門四個螺栓，打開副室氬氣閥門，查看副室壓力表指針到0位和 副室小門可以被打開時，才可以升晶棒到副室腔內并高于副室門，蓋上隔離閥，打開液壓泵電源，升起副室； 4、把取單晶的小車放在副室爐筒正下方，準備接單晶； 5、穩定單晶，移開安全接盤，按下晶快降，將單晶降入取晶小車內； 6、確認單晶完全放入小車內后，戴上手套，抓緊重錘，用鋼絲鉗將籽晶從細徑處剪斷，然后穩定重錘，將籽晶從重錘上取下，再將重錘升至副室內； 三、導流筒.保溫蓋.鍋底料的取出 1、準備好不銹鋼小車和取導流筒掛鉤（堝桿扳手）； 2、戴好手套及耐高溫手套； 3、按順序取出導流筒和保溫蓋；3、 4、取出的石墨件要放在不銹鋼臺車上； 1、戴好耐高溫手套和準備好鉗子； 2、用鉗子夾住石英堝的上端部分提起，使其松動； 3、戴好耐高溫手套將石英坩堝取出，若石英坩堝和堝底料能全部帶出直接放入不銹鋼小車 上；若不能則將石英坩堝硅料放到車間指定的區域，剩下的堝底料隨三瓣堝一并取出，若出現整爐報廢等意外情況則，用耐高溫手套直接將石英堝體和硅料一并取出； 四、清理大罐 1、準備好毛刷、吸管、專用工具； 2、帶好手套、防塵口罩； 1、用專用工具大罐蓋螺栓，取出罐蓋和過濾網； 2、用毛刷和吸塵器仔細清掃過濾網及大罐內的氧化物； 3、將清掃后的過濾網緩慢放進大罐； 4、用刷子和吸塵器清掃罐蓋； 5、用沾酒4、精的紙擦拭罐蓋和密封部件； 6、蓋好大罐蓋并用專用工具擰緊螺栓； 五、管道爐蓋的清理 1、帶口罩、手套； 2、準備好防塵口罩、無塵紙、酒精、清掃用的氬氣、研磨布、毛刷、吸塵器管等清掃所需 物品； 1、用毛刷和吸塵器清掃抽氣管道內的揮發物，吸塵器管必須伸入管道底部以便將管道內的揮發物徹底吸盡； 2、安裝管道蓋時，一定要檢查密封圈是否完好、潔凈，擰緊螺絲時一定要對角擰緊，以防抽空時漏氣。 六、小付室的清掃 1、打開副爐室門； 2、用沾有酒精的無塵紙擦拭小付室的附著物； 七、石墨件的清理 1、準備好清掃用品（毛刷、無塵紙、氬氣、吸塵器管、研磨布、除硅點的專有工具、放石 墨件的潔凈小車等）帶好手套、防5、塵口罩； 2、依次用毛刷、吸塵器、無塵紙、清掃石墨件，直至確認無污物； 爐內的清理 1、準備好毛刷、吸塵器和專用工具； 2、用專用工具仔細地疏通廢氣孔，用吸管吸凈爐筒和保溫材料及加熱器上沿拆爐時落掉的 殘渣； 3、用毛刷和吸管仔細用力清掃保溫筒，加熱器所能觸及到的部位； 八、 安裝石墨件 1、依次安裝石墨件 堝桿.堝托.三瓣堝. 安裝石英堝 1、 打開石英坩堝包裝，對光檢查石英坩堝的內壁有無裂紋、污物、氣泡和黑點； 2、 若無異常，用氬氣對石英坩堝做認真仔細的整體吹掃，吹凈浮塵； 3、 在爐內的石墨堝上裝好石英坩堝； 裝料 1、 將母合金放入石英坩堝內； 2、 在堝底平鋪小型硅料，然后將大型硅6、料放在上面； 3、 在大型硅料之間的間隙里填充小型硅料； 4、 在大塊硅料裝完后，再裝中型硅料； 5、 在裝料到石英坩堝最上層時，中型硅塊料靠坩堝壁盡量以點接觸，避免面接觸，造成 掛邊； 6、 最后將硅料堆成錐形狀，有利于放導流筒； 安裝導流筒及保溫蓋 1、 裝料完成后堝轉為2/RPM左右旋轉，查看坩堝旋轉情況； 2、 清掃周邊（堝上部、加熱器上部、保溫材料上部、爐蓋接合部）用干凈吸塵器吸凈灰 塵及硅渣； 3、 確認無摩擦快速將堝降至下限，堝降到位后，停止堝轉，裝好保溫蓋、導流筒； 爐蓋的清掃 1、 用沾有酒精的無塵紙擦拭爐蓋接合部、爐筒的接合部的封密圈并檢查，確認無問題后， 將爐蓋旋轉至爐筒7、上部； 打開液壓泵電源，按爐蓋降按鈕下爐蓋 副室的清掃 1、 準備好清掃棒、無塵紙、酒精、氬氣； 2、 在清掃棒上纏上沾有酒精的無塵紙，清掃副室內部至上部； 3、 用清掃棒吹掃副室內部至上部，直至確認無污物； 4、 用沾有酒精的無塵紙認真擦拭重錘及鉬夾頭，最后用氬氣認真吹凈； 5、 按晶快升升起重錘至適當位置，用沾有酒精的無塵紙擦拭副室下部的接合部和爐蓋上部 的接合部，轉動副室，降下與爐蓋合爐； 安裝籽晶 1、 用沾有酒精的無塵紙認真擦拭籽晶，并用氬氣吹凈； 2、 把籽晶裝在夾頭上，裝好鉬銷； 3、 用力向下拽一下籽晶使其牢固，穩定好籽晶后，按晶快升使其上至適當位置，關閉副 室小門，開始抽空；8、 抽空 1. 打開真空泵電源； 2. 緩慢打開球閥； 3. 抽空后爐內力達20Pa時，進行反復充氬氣，使爐內壓力10Pa； 4. 關閉真空球閥，進行冷檢漏3分鐘，看漏率是否小于1Pa； 加熱化料 1、 抽空完成后，漏率達到要求后，打開真空球閥，打開氬氣閥門，設定流量為20升/ 分，使爐內壓力達到1000Pa左右； 2、 確認單晶爐進水、出水開關打開，并檢查各進水分支開關已打開； 3、 打開加熱電源開關； 4、 根據通過歐陸手動狀態的OP功能每半小時，分步增加功率；(10、30、70、90KW) 引晶溫度調試 1、溫度切入自動后，按晶快降，將籽晶降至從主觀察窗能看到的位置； 2、20分鐘后，按晶9、快降按鈕將籽晶降至距液面20mm處預熱20分鐘； 3、降籽晶使之與液面接觸，晶轉設定為8 轉/分，熔接10分鐘，根據接觸光圈的形狀（光 圈圓合適，方不合適溫度低），確定引頸溫度是否合適，若合適開始引頸，若不合適，通過歐陸調整溫度20分鐘后開始引頸，溫度不宜偏低； 引晶 1、 打開晶升電源，計長清零；給定堝轉至7 轉/分.； 2、 緩慢提升拉速至1.5mm/min左右10mm后，提升拉速，讓拉速保持在 1.5mm/min-6mm/min之間，引頸直接控制在3mm左右，引頸長度不低于150mm.； 3、 引晶過程中若溫度不適，可進行手到調節溫度，但不宜過大； 放肩 1、引頸達到預定的長度后，緩慢降10、低拉速直至0.7mm/min進行放肩； 2、放肩務必要放平肩，放肩時用溫校速率來調節溫度； 轉肩 1、 將肩放到適當直徑時，將拉速緩慢提高； 2、 密切關注單晶的生長速度，適當增減拉速； 3、 待單晶生長到目標直徑時緩慢降低拉速，同時適當給定堝跟隨動；轉肩結束后，計長清零，實時觀察單晶生長情況待其生長穩定后，調整伊爾根，使其壓單晶光圈1/31/2之間的位置，數字信號大小為350-450左右； 4、 調整好拉速和溫度，將計算機切入等徑控制和溫度控制自動狀態。 等徑 1、計算機切入自動控制后認真作好各項記錄； 2、等徑過程中應時常觀察爐內單晶生長情況，每隔15分鐘對爐內巡視一次，確定有無異常，每一個小時做一次拉晶記錄； 收尾 1、當晶體長達到達預定長度或堝內剩料少時，等徑和溫度自控手動退出，慢慢的降堝跟停止堝升進行收尾； 2、要經常檢看收尾情況，對拉速和溫度做適當調整； 3、收尾長度應為晶體直徑的大小，收成尖尾后使單晶脫離液面，轉入晶體冷卻工序； 4、單晶脫離液面時，按堝降快速，使之脫離 停加熱 1、收尾完成后，按下堝快降鍵，下降20mm后確認堝快降停止，不成晶時下降30mm.； 2、晶升拉速調整到1.0mm/min，使單晶自動上升； 3、歐陸歸0； 4、調整計算機各參數，使之恢復初始狀態