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1、微電子公司面板廠VAS崗位真空貼合機(jī)臺(tái)生產(chǎn)作業(yè)指導(dǎo)書編 制： 審 核： 批 準(zhǔn)： 版 本 號(hào): ESZAQDGF001 編 制： 審 核: 批 準(zhǔn)： 發(fā) 布： 二XX年X月1 目的 指導(dǎo)和規(guī)范真空貼合機(jī)臺(tái)生產(chǎn)作業(yè)，以保證生產(chǎn)的順利進(jìn)行。2 適用范圍 適用于xxxx制造中心面板廠ODF VAS崗位員工3 定義 （1） VAS；真空貼合系統(tǒng) Vacuum Assembly System的簡(jiǎn)寫（2） EMO：緊急停止.（3） RUN：?jiǎn)?dòng)鍵.（4） Alarm：警報(bào).（5） System：系統(tǒng).（6） T/P：Touch Panel，觸摸式操作屏.（7） Recipe：程序。4、 操作步驟：操作步驟2、具體說明注意事項(xiàng)1操作前準(zhǔn)備2 操作步驟3 操作完成后1.1 Recipe選擇1.1.1點(diǎn)擊PC軟件畫面右上角的“Show Menu”如圖1-1紅框所示。 圖1-11.1.2選擇Recipe Setting，如圖1-2紅圈所示。 圖1-21.1.3在彈出對(duì)話框中輸入密碼，根據(jù)工藝卡選擇對(duì)應(yīng)得Recipe，如圖1-3所示。 圖1-31.1.4點(diǎn)擊Change Recipe，在界面右上角中確認(rèn)當(dāng)前Recipe是否已更改正確，確認(rèn)無誤后點(diǎn)擊EXIT退出。 圖1-4 1.1.6設(shè)備日常點(diǎn)檢 對(duì)設(shè)備各參數(shù)進(jìn)行點(diǎn)檢，點(diǎn)檢記錄填寫到設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)記錄表（日），若數(shù)值不在點(diǎn)檢范圍內(nèi)，通知工程師處理。2.1原點(diǎn)復(fù)3、歸2.1.1 在Touch Panel根目錄中點(diǎn)擊 “Run ”。如圖2-1紅圈所示： 圖 2-1 2.1.2選擇“Init”選項(xiàng)。進(jìn)入如下2-2界面。圖2-2 2.1.3點(diǎn)擊“ Mode” 按鈕，選擇Auto模式，按“ Origin”，使機(jī)臺(tái)完成原點(diǎn)復(fù)歸。2.2機(jī)臺(tái)自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)2.2.1如圖2-3所示選擇“Auto Monitor”選項(xiàng)。 圖 2-3 2.2.2點(diǎn)擊Touch Panel下方的START按鈕，機(jī)臺(tái)左上角顯示為“Run Process”。3.1設(shè)備停止 3.1.1設(shè)備中有基板時(shí)，按下Touch Panel下方的stop，設(shè)備做完當(dāng)前動(dòng)作后停止。 3.1.2設(shè)備中有基板時(shí)，按下Tou4、ch Panel上的Cycle stop，設(shè)備做完當(dāng)片基板制程并排出后即停止，不再接收新的基板。 3.1.2設(shè)備中無基板時(shí)，按下Touch Panel下方的stop或Touch Panel上的Cycle stop設(shè)備均會(huì)停止自動(dòng)運(yùn)行。Origin閃爍說明在動(dòng)作中，穩(wěn)定在黃色后說明動(dòng)作已完成只有在Auto Monitor界面下設(shè)備才能進(jìn)入自動(dòng)運(yùn)行狀態(tài)。只有在Press前Cycle stop才有效設(shè)備內(nèi)不能有安全支柱，Cleaning棒等物品5 異常處理：5.1報(bào)警常規(guī)處理流程：5.1.1報(bào)警處理流程圖參考1.2參考1.3 圖 5-1 5.1.2查看報(bào)警內(nèi)容5.1.2.1 VAS自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)步驟如下圖5、，當(dāng)某一步驟條件不滿足時(shí)，Alarm發(fā)生 圖 5-2 5.1.2.2 Alarm發(fā)生后設(shè)備會(huì)發(fā)出報(bào)警音樂提醒操作者注意，同時(shí)設(shè)備狀態(tài)指示燈變成紅色，Touch Panel畫面會(huì)彈出對(duì)話框，顯示報(bào)警內(nèi)容。 圖 5-3 5.1.2.3也可以在根目錄下點(diǎn)擊Error查看報(bào)警記錄，操作人員發(fā)現(xiàn)報(bào)警以后，要仔細(xì)閱讀報(bào)警內(nèi)容，以明確報(bào)警原因。 圖 5-45.1.3觀察設(shè)備狀態(tài)5.1.3.1確認(rèn)機(jī)臺(tái)內(nèi)基板的狀態(tài)。5.1.3.2 Robot手臂的位置，設(shè)備之間通信狀況等。5.1.3.3 確認(rèn)此時(shí)操作是否安全。5.1.4解除Alarm 5.1.4.1根據(jù)具體的原因采取對(duì)應(yīng)的操作，使不滿足的條件得到滿足，讓機(jī)臺(tái)正6、常完成動(dòng)作。注意：對(duì)不知如何處理以及操作后不知會(huì)有何種后果的情況，一律不許操作，需立即與當(dāng)班工程師聯(lián)絡(luò)詢問處理方法。5.2對(duì)位異常處理流程5.2.1“粗Mark檢出ERR”、“微Mark檢出ERR”、“判定Mark檢出ERR”的處置流程圖如下: 圖 5-55.2.2對(duì)位報(bào)警時(shí)Touch Panel會(huì)彈出如下對(duì)話框 圖 5-6按下此鍵后，不論實(shí)際 手動(dòng)對(duì)位的結(jié)果如何， 設(shè)備都認(rèn)為是OK的 其中， Manual Align:在Inching下對(duì)mark的位置進(jìn)行手動(dòng)對(duì)位。對(duì)好后再進(jìn)行Manual Align OK Retry操作，如下圖。按下此鍵后，將對(duì)位步驟 跳過，不做對(duì)位直接照射 手動(dòng)調(diào)節(jié)至 7、Mark清晰顯 示后按下此鍵，設(shè)備會(huì) 再做一次自動(dòng)對(duì)位確認(rèn) 圖 5-7 Mark Save: 在PC上對(duì)Mark進(jìn)行登錄處理。 Retry:重新再做一次對(duì)位動(dòng)作。 Stop: 退出自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)注意：手動(dòng)對(duì)位禁止觸按“Align Invalid”與“Manual Align OK”按鍵，只允許按下“Manual Align OK Retry”按鍵5.3 Unmatch報(bào)警處理流程5.3.1 Unmatch報(bào)警處理流程圖 圖 5-85.4 機(jī)臺(tái)發(fā)生掉片或破片的處理流程5.4.1要立即將機(jī)臺(tái)停止，通知設(shè)備擔(dān)當(dāng)工程師處理。5.5基板排出超時(shí)處理5.5.1基板排出超時(shí)處理流程圖 圖 5-95.6其它異常的處8、理5.6.1機(jī)臺(tái)動(dòng)作異常 5.6.1.1機(jī)臺(tái)運(yùn)行過程中如果出現(xiàn)異常動(dòng)作，可能對(duì)人員，產(chǎn)品或設(shè)備造成損害時(shí)，要立即按下EMO將機(jī)臺(tái)停止. 5.6.2制品發(fā)生不合格時(shí)5.6.2.1停止機(jī)臺(tái)，通知工程師，詢問在制品的處理方法。詳細(xì)記錄基板ID、發(fā)生時(shí)間、所發(fā)生異常的信息。 注意：在解決問題的同時(shí)要注意找到問題發(fā)生的根本原因，例如當(dāng)制品因機(jī)臺(tái)內(nèi)有異物而造成不良時(shí)，要仔細(xì)確認(rèn)異物的成分，以確認(rèn)其發(fā)生源。基板在此工序停滯時(shí)間稍長便會(huì)造成大量不良，所以發(fā)生不知如何解決的問題時(shí)要立即聯(lián)系工程師詢問對(duì)策。6 安全環(huán)境注意事項(xiàng) 6.1 無特殊情況，Pump應(yīng)始終處于ON的狀態(tài)，設(shè)備出故障需要重新啟動(dòng)時(shí)，要先將Pu9、mp關(guān)閉，再切斷電源。 6.2 禁止觸碰帶電元件，否則可能會(huì)發(fā)生觸電。 6.3安全支柱比較重，在使用時(shí)要注意安全，防止在轉(zhuǎn)移時(shí)從手脫落對(duì)人或?qū)υO(shè)備造成損傷。另外安全支柱是專門用于對(duì)真空貼合設(shè)備進(jìn)行定盤清掃和維護(hù)的安全保障工具，不具備任何其他功能，不能在任何其他場(chǎng)合使用。 6.4 Cleaning棒是專門用于對(duì)真空貼合設(shè)備定盤清掃的工具，不具備任何其他功能，不能在任何其他場(chǎng)合使用。 6.5設(shè)備的Interlock取消操作非常危險(xiǎn)，取消之后設(shè)備本身的安全限制將全部失效，有可能對(duì)人員及機(jī)臺(tái)造成嚴(yán)重傷害。只有設(shè)備擔(dān)當(dāng)工程師在有維護(hù)保養(yǎng)的時(shí)候才能進(jìn)行此操作，其他任何人員不可進(jìn)行Interlock取消操作；若有保護(hù)作用的Sensor失效、帶電部件損壞或線路老化時(shí)及時(shí)通知工程師進(jìn)行更換。 6.6禁止酒后上班、疲勞作業(yè) 、帶病工作，按規(guī)定進(jìn)行著裝穿戴以免引發(fā)傷害。 6.7對(duì)設(shè)備狀況不了解時(shí)禁止隨意進(jìn)行相關(guān)操作以免引發(fā)傷害。 6.8禁止觸按機(jī)臺(tái)發(fā)熱部分。 6.10清理玻璃碎片時(shí)要佩帶乳膠手套，以防手部被劃傷；用吸塵器吸取碎渣時(shí)要帶上護(hù)目眼睛，防止碎渣賤入眼內(nèi)。7 相關(guān)表格： 7.1 設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)記錄表（日）